Initializing individual exposure field parameters of an overlay controller


Çinar E.

Patent, BÖLÜM G Fizik, Buluşun Tescil No: US10788806B2 , 2020, Tescil Edildi

  • Fikri Mülkiyet: Patent
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Amerika Birleşik Devletleri
  • Buluşun Durumu: Tescil Edildi
  • Başvuru Tarihi: 9.07.2018
  • Tescil Tarihi: 29.09.2020
  • Başvuru Yapılan Ülke/Kuruluş: Tayvan
  • Buluşun Durumu: Tescil Edildi
  • Başvuru Tarihi: 9.07.2018
  • Tescil Tarihi: 1.05.2020