β-(AlxInyGa(1-x-y))2O3 tabakalarının düşük basınç kimyasal biriktirme (LPCVD) ile büyütülmesi ve aygıt uygulamalarının gerçekleştirlmesi | AVESİS

Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Akademik Veri Yönetim Sistemi

β-(AlxInyGa(1-x-y))2O3 tabakalarının düşük basınç kimyasal biriktirme (LPCVD) ile büyütülmesi ve aygıt uygulamalarının gerçekleştirlmesi

Gür E., Akyol F.(Yürütücü)

TÜBİTAK Projesi, 2019 - 2022

Proje Türü: TÜBİTAK Projesi
Başlama Tarihi: Eylül 2019
Bitiş Tarihi: Eylül 2022