Investigation of Cold Flowing Radio Frequency Post Discharges


Akan T., İlik E., Tanışlı M.(Executive)

Project Supported by Higher Education Institutions, 2014 - 2016

  • Project Type: Project Supported by Higher Education Institutions
  • Begin Date: May 2014
  • End Date: September 2016

Project Abstract

Bu projede Anadolu Üniversitesi'ne bir soğuk plazma laboratuvarı kazandırılmıştır. Atmosferik ve düşük basınçta çalışan iki sistem kurulmuştur. Atmosferik basınç plazma jet sistemi 40 kV güç kaynağı ile iğne elektrot jet sistemi olarak kurulmuştur. Düşük basınç plazma sistemi "Akan plazma" olarak üretilmiştir. Akan plazma sisteminde plazma 13.56 MHz Radyo Frekans güç kaynağı ile induktif olarak üretilmiştir. Sistem kapasitif RF deşarj da üretmektedir. Proje kapsamında Ocean Optics taşınabilir optik emisyon spektroskopisi de alınmıştır. OES cihazı ile hem atmosferik basınç plazma jet sisteminden hem de RF deşarj sisteminden Neon ve Argon gazları için emisyon spektrumları alınmaktadır. Bu spektrum verileri ile plazmaların elektron sıcaklığı ve elektron yoğunluğu hesaplanabilmektedir. Plazma jet sistemi biyolojik ve kimyasal sistemlere uygulanabilmektedir.