Investigation of properties of boron thin film deposited by thermionic vacuum arc technology

Ekem N., AKAN T., Pat S., Balbag M. Z., Cenik M. I., Karakas E., ...Daha Fazla

6th International Conference of the Balkan-Physical-Union, İstanbul, Türkiye, 22 - 26 Ağustos 2006, cilt.899, ss.699, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Cilt numarası: 899
  • Doi Numarası: 10.1063/1.2733440
  • Basıldığı Şehir: İstanbul
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Sayfa Sayıları: ss.699
  • Anahtar Kelimeler: TVA, boron, thin film, properties of boron thin film
  • Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Adresli: Evet

Özet

In this study, we first used boron as anode material in the TVA system. We also present boron thin film deposition using TVA technology.