SPUTTERED DIELECTRIC FILMS FOR GAAS DIFFUSION MASKS

ROEDEL R., ERKAYA H. H., EDWARDS J.

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, cilt.17, sa.3, ss.243-247, 1988 (SCI-Expanded) identifier identifier

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 17 Sayı: 3
  • Basım Tarihi: 1988
  • Doi Numarası: 10.1007/bf02652185
  • Dergi Adı: JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
  • Sayfa Sayıları: ss.243-247
  • Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Adresli: Hayır