SPUTTERED DIELECTRIC FILMS FOR GAAS DIFFUSION MASKS

ROEDEL R., ERKAYA H. H., EDWARDS J.

JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, cilt.17, sa.3, ss.243-247, 1988 (SCI-Expanded, Scopus)

• Yayın Türü: Makale / Tam Makale
• Cilt numarası: 17 Sayı: 3
• Basım Tarihi: 1988
• Doi Numarası: 10.1007/bf02652185
• Dergi Adı: JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS
• Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
• Sayfa Sayıları: ss.243-247
• Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Adresli: Hayır