Investigation of properties of boron thin film deposited by thermionic vacuum arc technology

---

Ekem N., AKAN T., Pat S., Balbag M. Z., Cenik M. I., Karakas E., ...Daha Fazla

6th International Conference of the Balkan-Physical-Union, İstanbul, Türkiye, 22 - 26 Ağustos 2006, cilt.899, ss.699, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Cilt numarası: 899
• Doi Numarası: 10.1063/1.2733440
• Basıldığı Şehir: İstanbul
• Basıldığı Ülke: Türkiye
• Sayfa Sayıları: ss.699
• Anahtar Kelimeler: TVA, boron, thin film, properties of boron thin film
• Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Adresli: Evet

Özet

In this study, we first used boron as anode material in the TVA system. We also present boron thin film deposition using TVA technology.