MEMS bimaterial IR sensor array with AC coupled optical readout

Adıyan U., ÇİVİTCİ F., FERHANOĞLU O., TORUN H., ÜREY H., AYDAR Y.

2015 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), Jerusalem, 2 - 05 Ağustos 2015, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Doi Numarası: 10.1109/omn.2015.7288834
• Basıldığı Şehir: Jerusalem
• Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Adresli: Evet