ZnO filmlerinin bazı fiziksel özellikleri üzerine Co katkısının etkisi

---

Tezin Türü: Doktora

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi, FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ, FİZİK ANABİLİM DALI, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2013

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: OLCAY GENÇYILMAZ

Danışman: Ferhunde Atay

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

ZnO filmleri, çeşitli bilimsel alanlarda kullanılan Saydam İletken Oksit (SİO) olarak bilinen çok fonksiyonlu bir yarıiletken malzemedir. Özellikle çeşitli katkı elementleriyle katkılanarak fiziksel özellikleri kolaylıkla değiştirilebilmektedir. Bu tez çalışmasında ZnO filmlerinin fiziksel özellikleri üzerine geçiş elementlerinden olan Co katkısının etkisini araştırmak ve geliştirmek için ZnO:Co filmleri üretilmiştir. ZnO:Co filmleri 350±5 °C?deki cam tabanlar üzerine Ultrasonik Kimyasal Püskürtme Tekniği (UKPT) kullanılarak elde edilmiştir. Elde edilen filmlerin yapısal, optiksel, yüzeysel ve elektriksel özellikleri üzerine Co katkısının etkisi incelenmiştir. Filmlerin yapısal özellikleri X-ışını kırınım (XRD) desenleri kullanılarak incelenmiş ve tüm filmlerin polikristal yapıda olduğu belirlenmiştir. Filmlerin geçirgenlik ve fotolüminesans spektrumlarından yararlanarak optik özellikleri incelenmiştir. Ayrıca filmlerin kalınlıkları ve bazı optik parametreleri (kırılma indisi ve sönüm katsayısı) spektroskopik elipsometri tekniği ile belirlenmiştir. Filmlerin yüzeysel özellikleri Alan Emisyon Taramalı Elektron Mikroskobu (FESEM) ve Atomik Kuvvet Mikroskobu (AKM) kullanılarak incelenmiş, Enerji Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi (EDS) ile elemental analizleri yapılmıştır. Elektriksel özelliklerini belirlemek amacıyla Hall ölçüm tekniği kullanılmıştır. Yapılan incelemeler sonucunda, Co katkısının ZnO filmlerinin bazı fiziksel özellikleri üzerinde önemli etkiler yarattığı belirlenmiş ve bu filmlerin kullanım potansiyelleri araştırılmıştır.