SnO2 filmlerinin bazı fiziksel özellikleri üzerine taban sıcaklığının etkisi

---

Tezin Türü: Yüksek Lisans

Tezin Yürütüldüğü Kurum: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi, FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ, FİZİK ANABİLİM DALI, Türkiye

Tezin Onay Tarihi: 2005

Tezin Dili: Türkçe

Öğrenci: MELTEM DEMİR

Danışman: FERHUNDE ATAY

Açık Arşiv Koleksiyonu: AVESİS Açık Erişim Koleksiyonu

Özet:

ÖZETSnO2 ILOPOHUL XOWUDVRQLN NLP\DVDO SVNUWPH WHNQL÷L LOH YH350 ± 5 ºC WDEDQ VÕFDNOÕNODUÕQGD HOGH HGLOPLúWLU (OGH HGLOHQ ILOPOHULQ ED]ÕHOHNWULNVHOYHRSWLN|]HOOLNOHULNULVWDOVLVWHPOHULYH\]H\PRUIRORMLOHULLQFHOHQPLúYH PLNURDQDOL]OHUL \DSÕOPÕúWÕU )LOPOHULQ NDOÕQOÕNODUÕQÕQ - P DUDVÕQGDGH÷LúWL÷L YH DUWDQ WDEDQ VÕFDNOÕ÷ÕQD ED÷OÕ RODUDN NDOÕQOÕNODUÕQ D]DOGÕ÷ÕEHOLUOHQPLúWLU ;5' GHVHQOHULQGHQ WP ILOPOHULQ SROLNULVWDO \DSÕGD ROGXNODUÕEHOLUOHQPLúWLU )LOPOHULQ WHUFLKOL \|QHOLPOHUL LoLQ \DUÕ SLN JHQLúOLNOHUL YH WDQHER\XWODUÕ KHVDSODQPÕú YH WDEDQ VÕFDNOÕ÷ÕQÕQ DUWPDVÕ\OD NULVWDOOHúPH VHYL\HOHULQLQDUWWÕ÷Õ EHOLUOHQPLúWLU 6(0 J|UQWOHULQGHQ ILOPOHULQ \]H\OHULQLQ KRPRMHQGD÷ÕOÕPD VDKLS ROXS ROPDGÕNODUÕ YH WDEDQ VÕFDNOÕ÷ÕQÕQ DUWPDVÕ\OD KRPRMHQOL÷LQDUWWÕ÷Õ J|]OHQPLúWLU ('6 PLNURDQDOL]OHULQGHQ 6Q YH 2 HOHPHQWOHULQLQ NDWÕLoHULVLQGH YDU ROGX÷X WHVSLW HGLOPLúWir. Tüm filmler için geçirgenlikVSHNWUXPODUÕQGDQID\GDODQDUDN\DQVÕPDYHOLQHHUVR÷XUPDNDWVD\ÕODUÕKHVDSODQPÕúYH EX SDUDPHWUHOHULQ GDOJDER\XQD ED÷OÕ RODUDN GH÷LúLPOHUL LQFHOHQPLúWLU)LOPOHULQ \DVDN HQHUML DUDOÕNODUÕQÕQ - H9 DUDVÕQGD GH÷LúWL÷L EHOLUOHQPLúWLU)LOPOHULQ LOHWLP PHNDQL]PDODUÕQÕ LQFHOHPHN DPDFÕ\OD HOGH HGLOHQ ,-VNDUDNWHULVWLNOHULQGHQ ILOPOHULQ RKPLN |]HOOLN J|VWHUGLNOHUL WHVSLW HGLOPLúWLU)LOPOHULQ NDUDQOÕNWD LOHWNHQOLNOHULQLQ 5.40x10-1-2.24x10-3 (FP-1 DUDVÕQGDGH÷LúWL÷L J|UOPúWU )LOPOHULQ LOHWNHQOLNOHULQLQ VÕFDNOÕ÷D ED÷OÕ GH÷LúLPOHULQGHQGúN YH \NVHN VÕFDNOÕN E|OJHOHUL LoLQ GRQ|U YH GRQ|U JLEL GDYUDQDQ WX]DNODUÕQHQHUMLOHULQLQ VÕUDVÕ\OD -2.10 meV ve 0.049- H9 DUDVÕQGD GH÷LúWL÷LJ|UOPúWUAnahtar Kelimeler: SnO2 filmleri, Ultrasonik kimyasal püskürtme, Elektrik veoptik özellikler, XRD, SEM-EDS.