Run-to-Run Control Strategy of HARP Liner Thickness with Product Dependent Deposition Rates


Yi S., ÇİNAR E., Wang M., Lee Y., Minton P.

XXIX Advanced Process Control Conference, Austin, TX, Amerika Birleşik Devletleri, 9 - 12 Ekim 2017

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Austin, TX
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Eskişehir Osmangazi Üniversitesi Adresli: Hayır